一、产品概述

SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。

二、产品特点

■ 操作简便、小巧易安装；

■ 高速
、高分辨率；

■ 多款定制测头满足多场景需求；

■ 宽光谱涵盖多膜厚需求应用
；

■ 适用在线膜厚量测与质量评估
；

■ 宽光谱实现多应用场景需求。

三
、测量原理

 *1：用玻璃的折射率1.5计算

*2：用硅的折射率3.67计算

      *3：测量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4：测量厚度大于30µm的Si膜的1σ

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  发布时间：2023-12-08 14:06

  永久有效

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