概述

微光斑配套于穆勒矩阵椭偏仪/光谱椭偏仪的升级组件
，可配合可视化调平系统用于消除透明基底产生的无效背反信息，针对小样件

、非规则测量透明基底区域实现快速消背反椭偏测量

。

特色功能

■ 支持100*100μm/200*200μm尺寸定制

■ 支持超小微光斑30*50μm等不同规格定制开发；

■ 集成消透明基底背反光路以及算法设计；

■ 可配合可视化调平系统模块

应用场景 

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  发布时间：2021-08-08 15:06

  永久有效

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